小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯，風(fēng)速低了，氣流在過(guò)濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過(guò)濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過(guò)濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過(guò)率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過(guò)率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。

經(jīng)測(cè)試分析，無(wú)塵室的微污染中80%是工作人員帶來(lái)的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無(wú)塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

除了防止微塵進(jìn)入，無(wú)塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來(lái)確保無(wú)塵室內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過(guò)濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。

建造一個(gè)合格的電子無(wú)塵車間需要考慮多個(gè)因素，包括空氣過(guò)濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程?？諝膺^(guò)濾：安裝的空氣過(guò)濾系統(tǒng)是建造無(wú)塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^(guò)濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車間。